院长邓国辉兼任光刻机光源研究所所长，副院长欧阳民兼任硅晶圆研究所所长。

光刻机精密设备研究所、刻蚀机研究所、光刻机热处理研究所、光刻胶研究所、掩膜版研究所、离子注入机研究所和光刻机半导体信息部所...

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